http://warm-ir-heater-supply.com/fa/tags/%D8%AC%D9%84%D9%88/ Recent content in (جلو on Warm IR Heater Supply Co. Hugo fa Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/fa/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/fa/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="خشککن FOUP (کپسول یکپارچه با دهانه جلویی)"></p> <p>در خط تولید با قطر ۳۰۰ میلی‌متر، حتی وجود یک نشانه آبی ریز روی سطح ویفر کافی است تا کل محموله مربوط به آن ویفر از کار بیفتد. در روش خشک‌کردن معمولی، شما در واقع روی تفاوت دماهای موجود در سطح ویفر شرط‌بندی می‌کنید؛ اما چنین ریسکی در فرآیندهایی که در مقیاس نانومتر انجام می‌شوند، قابل قبول نیست.</p> <p><strong>چه چیزی اهمیت دارد؟</strong><br> این دستگاه خشک‌کن، یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد تضمین می‌کند؛ این اندازه‌گیری در سطح خود ویفر انجام می‌شود، نه روی سطح هیتر. این دستگاه از فرستنده‌های مادون قرمز کوتاه‌موج و مسیر جریان هوای بدون کوارتز استفاده می‌کند؛ بنابراین هیچ ذره‌ای در حین خشک‌کردن اضافه نمی‌شود. سیستم‌های مکانیکی و فیلترهای مربوط به خروجی گاز نیز به گونه‌ای طراحی شده‌اند که شرایط اتاق پاک را در سطح ۱ تا ۱۰۰ حفظ کنند. مدل‌سازی حرارتی مخصوص این دستگاه، بار حرارتی ویفر را جبران می‌کند؛ بنابراین پروفایل‌های خشک‌کردن ویفر قابل تکرار خواهند بود.</p>