گرمایش مادون قرمز در مقابل گرمایش هوای داغ: دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن ویفرها باشید
هنوز هم شاهد استفاده زیادی از روش گرمایش هوای داغ برای گرم کردن ویفرها در خطوط تولید نیمههادی هستیم. این روش، روش قدیمی است؛ صادقانه بگویم، این روش بسیار غیرکارآمد است.
مشکل اصلی، تأخیر در انتقال گرماست. هوا در انتقال گرما عملکرد بسیار ضعیفی دارد؛ بنابراین مجبورید مدت زمان زیادی را صرف انتظار برای رسیدن ویفرها به دمای مورد نظر کنید. این کار مانند انتظار خشک شدن رنگ است، در حالی که زمان تولید در حال گذر است.
هزینه واقعی انتظار
گرمایش مادون قرمز، در واقع میانجیهای لازم برای انتقال گرما را حذف میکند. به جای گرم کردن یک حباب بزرگ از هوا، پرتوهای مادون قرمز انرژی را مستقیماً به سطح ویفر منتقل میکنند. این فرآیند با سرعت نور اتفاق میافتد.
وقتی که در مرحله فرآوری هستید، این روش مزیت بزرگی دارد؛ زمان لازم برای گرم شدن ویفرها از دقایق به ثوانی کاهش مییابد. دیگر نیازی نیست با «وزن حرارتی» هوا مبارزه کنید؛ این بدان معناست که هزینه زمانی برای هر دفعه تولید کاهش مییابد، و میتوانید تعداد بیشتری ویفر را در هر شیفت تولید کنید.
اما این روش کاملاً بینقص نیست
البته، گرمایش مادون قرمز راهحل کاملی برای همه مشکلات نیست. این روش قدرت زیادی دارد، اما این قدرت میتواند مشکلاتی ایجاد کند. در حالی که هوای داغ ویفر را به طور یکنواخت گرم میکند، گرمایش مادون قرمز میتواند در صورت قرارگیری نادرست لامپها، نقاط گرم خاصی روی سطح ویفر ایجاد کند.
باید در مورد موقعیت و فاصله لامپها بسیار دقت کنید؛ اگر اشتباه کنید، ویفر میتواند تحت تأثیر قرار بگیرد.
ما معمولاً از لامپهای مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنیم، زیرا این لامپها سریعتر به سطح ویفر اثر میگذارند. اما باید توجه داشته باشید که این لامپها مصرف برق زیادی دارند؛ مطمئن شوید که پانلهای الکتریکی شما میتوانند این تغییرات ناگهانی را تحمل کنند، در غیر این صورت با مشکلات دیگری روبرو خواهید شد.
تغییر از روش گرمایش هوای داغ به روش گرمایش مادون قرمز
تغییر از روش گرمایش هوای داغ به روش گرمایش مادون قرمز، به اندازه سادهی تعویض یک جاروبرقی نیست؛ باید کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید.
از آنجایی که گرمایش مادون قرمز تقریباً بلافاصله اثر میکند، تنظیمات قدیمی که برای فرآیندهای گرمایش هوای داغ استفاده میشد، باعث میشود سیستم از دمای مورد نظر فراتر رود. این روش برای سیستمهای قدیمی بسیار سریع است.
همچنین باید سنسورها را دوباره تنظیم کنید؛ دیگر نیازی نیست دمای هوای اطراف ویفر را ردیابی کنید، بلکه باید دمای سطح ویفر را ردیابی کنید. پس از تنظیم کابلها و سنسورها، میتوانید چرخه تولید را سریعتر انجام دهید.