Secador FOUP (Front Opening Unified Pod)

Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800

En la línea de 300 mm, basta con que una sola FOUP salga del equipo de secado con marcas microscópicas de agua para que todo el lote sea descartado. Con el secado convencional, uno está, en esencia, apostando a los gradientes de temperatura en toda la capa de obleas. Ese tipo de riesgo no es aceptable cuando el margen de tolerancia en el proceso se mide en nanómetros.

Lo que realmente importa Este secador de FOUP logra una uniformidad térmica a nivel de la oblea de ±0,1 °C, medida en la superficie de la oblea, no en la superficie del calentador. Utiliza emisores de infrarrojos de onda corta y un sistema de flujo de aire sin cuarzo, lo que evita la entrada de partículas mientras se elimina la humedad. Los sellos mecánicos y los sistemas de filtración están diseñados para mantener el entorno dentro de las normas de salas limpias de clase 1–100. El modelo térmico específico para FOUP permite compensar las variaciones en la carga de las obleas, lo que garantiza que los procesos de secado sean reproducibles sin excesos.

Apertura on Warm IR Heater Supply Co.

Secador FOUP (Front Opening Unified Pod)