Trocknen on Warm IR Heater Supply Co.

Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorwafern

Sat, 18 Jul 2026 01:52:03 +0800

Trocknen von MEMS-Wafern mit Infrarotstrahlung
Beim Trocknen von MEMS-Sensorwafern muss man ein schwieriges Gleichgewicht finden. Die Feuchtigkeit muss entfernt werden – doch es dürfen keine Rückstände zurückbleiben. Zudem darf die Ausrüstung auf keinen Fall beschädigt werden.

Deshalb nutzen wir Infrarotstrahlung zur Trocknung. Anstatt Chemikalien zu verwenden oder die Luft zu erhitzen, trifft die Infrarotstrahlung direkt auf die Wassermoleküle. Das ist eine sauberere Methode – und sie passt perfekt in den Trend hin zu umweltfreundlichen, bleifreien Standards in der Fertigung.

Energieprüfung für die Trocknung in der Fabrik

Thu, 16 Jul 2026 01:17:18 +0800

Hören Sie auf, die Wände zu erhitzen – es gibt eine bessere Möglichkeit, die Wafer zu trocknen.
Wenn Sie bereits Erfahrung mit dem Trocknungsprozess in einer Fertigungshalle haben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Man versucht zwar, die Wafer trockenzubekommen, doch die Hälfte der Energie geht einfach in das Gehäuse der Maschine. Das ist frustrierend. Am Ende haben man verdorbene Innenwände und eine Maschine, die viel zu heiß zum Anfassen ist – was für die Personen, die sie warten müssen, ein Albtraum ist.

Wafer Trockenungsmodul 200 mm

Mon, 29 Jun 2026 02:22:42 +0800

In der 200-mm-Linie ist das Trocknen nach der Reinigung kein bloßer Stillstand – es ist vielmehr ein entscheidender Schritt. Dabei spielen die Oberflächenspannung, verbleibende Lösungsmittel sowie mikroskopische Verunreinigungen eine wichtige Rolle. Sie bestimmen, ob die nächste Schicht des Fotoleiters entsprechend den Vorgaben aufgetragen werden kann – oder ob es zu Problemen bei der Lithografie kommt.

Was wirklich wichtig ist
Unser Trockenmodul für 200-mm-Wafer ist nach einem durchdachten thermischen Profil konstruiert. In der heißen Zone herrscht eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C über die gesamte Fläche des Wafers. Dadurch werden die Temperaturen für das Weichen und Härten des Fotoleiters direkt in ein konstantes Verhalten umgesetzt. Der Behälter sowie die Gaswege sind für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet. Das System ist so konzipiert, dass nach dem Einrichten keine Partikel mehr entstehen. Wir messen dies anhand derselben Temperatur sowie derselben Anstiegsrate – Cycle für Cycle.