Präziser Infrarot Sensor für Wafer

Sun, 12 Jul 2026 05:24:23 +0800

Hören Sie auf, die Vakuumkammer zu erhitzen!
Jeder, der bereits Erfahrung mit der Herstellung von Halbleitern hat, kennt diese Probleme. Man muss die Wafer erhiten – doch man möchte dabei nicht versehentlich das gesamte Gerät zerstören.

Das Problem ist folgendes: Standard-IR-Lampen sind im Grunde nichts anderes als Leuchtröhren – nur noch leistungsstärker. Sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Ein großer Teil dieser Energie trifft die Wafer überhaupt nicht, sondern geht direkt an die Innenwände der Vakuumkammer. Wenn diese Wände all diese Wärme aufnehmen, entstehen Probleme: Die Dichtungen werden beschädigt – und es entsteht ein echtes Sicherheitsrisiko für die Personen, die neben der Maschine stehen.

Präzision on Warm IR Heater Supply Co.

Präziser Infrarot Sensor für Wafer