FOUP Trockner (Front Opening Unified Pod)

Sun, 28 Jun 2026 01:10:11 +0800

Bei der 300-mm-Technologie reicht bereits ein einziger FOUP-Kasten, der mit mikroskopisch kleinen Wasserrückständen aus dem Trocknungsprozess herauskommt, aus, um ganze Chargen vonWafern unbrauchbar zu machen. Bei herkömmlicher Trocknung setzt man im Grunde auf Temperaturunterschiede zwischen den Wafern. Solche Risiken sind jedoch nicht akzeptabel, wenn die Prozessparameter in Nanometern gemessen werden.

Was wirklich wichtig ist
Dieser FOUP-Trockner erreicht eine thermische Gleichmäßigkeit auf Waferniveau von ±0,1°C – gemessen auf der Fläche der Wafer selbst, nicht auf der Oberfläche der Heizelemente. Er verwendet Kurzwell-Infrarotstrahler sowie einen luftdichten Luftstromkanal ohne Quarzstoffe, sodass keine Partikel entstehen, während versucht wird, die Feuchtigkeit zu entfernen. Die mechanischen Dichtungen sowie die Filter zur Abführung der Abgase sorgen dafür, dass der Raum weiterhin zur Klasse 1–100 gehört. Das eingebaute thermische Modell kompensiert die Belastung durch den FOUP-Kasten, sodass die Ergebnisse des Trocknungsprozesses immer wieder reproduzierbar sind.

Einheitlich on Warm IR Heater Supply Co.

FOUP Trockner (Front Opening Unified Pod)