Montageklammer für Infrarotlampe

Thu, 18 Jun 2026 00:50:01 +0800

In der Lithografieanlage reicht bereits eine Abweichung von 2°C während des Trocknungsprozesses des Fotolacks aus, um viele Produkte zu ruinieren. Wir haben den Halter für die Infrarotlampen überarbeitet, damit die Temperatur gleichmäßig bleibt – innerhalb von ±0,1°C über die gesamte Waferfläche hinweg. Denn in diesem Bereich hängt die Produktqualität von diesen kleinen Abweichungen ab.

Was wirklich wichtig ist:
Der Halter hält die Infrarotlampen in einer präzisen Position – dadurch bleiben die Ausrichtung der Lampen sowie die Brennweite konstant. Er ermöglicht außerdem eine schnelle thermische Reaktion mit minimalem Überschuss. Hochwertige Polymere und Metalloberflächen sorgen dafür, dass nur minimale Partikel entstehen – was wiederum die Bedingungen in Reinräumen der Klassen 1–100 gewährleistet. Das Ergebnis sind stabile Temperaturen beim Trocknen des Fotolacks, eine bessere Kontrolle über die Wafergröße sowie zuverlässige Prozessbedingungen.

Befestigung on Warm IR Heater Supply Co.

Montageklammer für Infrarotlampe