Hören Sie auf, Zeit mit dem Warten darauf zu verschwenden, dass die Luft warm wird!
Wenn Sie immer noch heiße Luft zur Verarbeitung von Halbleitern nutzen, zahlen Sie im Grunde genommen eine Art „Mittelmannsteuer“ – in Form von verschwendeter Zeit. Denken Sie daran: Zuerst wird die Luft erhitzt, und anschließend hofft man, dass die Luft den Wafer erhitzt. Das ist ein langsamer Prozess.
Infrarotheizung eliminiert diesen Mittelmann. Die Energie wird direkt an das Substrat abgegeben – ohne Wartezeit.
Warum das wirklich wichtig ist
Wenn man heiße Luft verwendet, muss man gegen die thermische Trägheit ankämpfen. Man muss warten, bis die Luft eine bestimmte Temperatur erreicht hat, bevor der Werkstoff überhaupt reagiert. Das ist zeitaufwendig.
Infrarotlampen sind anders. Sie erreichen die Zieltemperatur fast sofort. Dadurch kann der Heizvorgang von Minuten auf Sekunden verkürzt werden. Dadurch läuft Ihre gesamte Produktionslinie effizienter. Sie benötigen nicht mehr viele Stationen – Sie können mit weniger Platz mehr erreichen.
Das Problem: Der Wafer darf nicht beschädigt werden
Schnelligkeit ist zwar gut – doch wenn die Temperatur überschritten wird, ist eine ganze Charge an Wafers ruiniert. Das ist ein Albtraum, den niemand erleben möchte.
Um alles unter Kontrolle zu halten, werden die Infrarotheizungen mit hochpräzisen Thermoelementen verbunden. Dadurch entsteht eine stabile Rückkopplungsschleife, die dem Heizer genau mitteilt, wann er die Leistung reduzieren soll.
Aber hier liegt das Problem: Der Sensor muss genauso schnell sein wie der Heizer. Wenn man einen sperrigen Sensor mit langsamer Reaktionszeit verwendet, wird die Lampe weiterhin Wärme abgeben, auch nachdem die gewünschte Temperatur bereits erreicht wurde. Man braucht also etwas Schnelles und Effizientes.
Die Realität
Infrarotheizung ist keine Wunderwaffe – sie hat ihre Eigenheiten. Im Gegensatz zu heißer Luft, die einfach alles umhüllt, benötigt Infrarotheizung eine klare Sichtlinie zum zu heizenden Objekt. Wenn die Lampe das Objekt nicht „sehen“ kann, wird sie es nicht erwärmen. Man muss also sorgfältig darauf achten, wo man die Lampen platziert, um unnötige Kaltstellen zu vermeiden.
Außerdem erzeugt Infrarotheizung viel konzentrierte Wärme. Wenn die Abluft des Geräts nicht richtig funktioniert, steigt die Temperatur im Inneren des Geräts an. Sobald das passiert, liefern die Sensoren falsche Daten.