Udržování vysoké teploty (aniž by došlo k poškození zařízení) Když používáte infračervené topné elementy v procesech chemické čistiny, v podstatě...

V režimu 300 mm stačí, aby z mokrého pracovního prostoru vyšla jedna jediná FOUP s mikroskopickou stopou vody – to stačí k zničení celé série čipů....