http://warm-ir-heater-supply.com/cs/tags/200mm/ Recent content in 200mm on Warm IR Heater Supply Co. Hugo cs Mon, 29 Jun 2026 02:22:43 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/cs/posts/wafer-drying-module-200mm/ Mon, 29 Jun 2026 02:22:43 +0800 http://warm-ir-heater-supply.com/cs/posts/wafer-drying-module-200mm/ <p><img src="http://warm-ir-heater-supply.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Modul sušení waferů 200mm"></p> <p>V řadě 200 mm není sušení po čištění jen doba nečinnosti. Právě zde rozhodují povrchové napětí, zbývající rozpouštědla a mikrokontaminace o tom, zda se další vrstva fotorezistu nanese podle specifikací – nebo zda bude v procesu litografie selhat.</p> <p><strong>Co je ve skutečnosti důležité</strong> Náš modul na sušení waférů o velikosti 200 mm je konstruován tak, aby umožňoval opakované použití stejného teplotního profilu. V horké zóně je dosažena rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C po celé ploše waféru. Díky tomu se teploty používané při sušení převádějí přímo na konzistentní chování fotorezistu. Komora a cesty pro proudění plynu jsou kompatibilní s prostředím třídy čistoty 1–100. Systém je navržen tak, aby po nastartování fungoval bez jakýchkoli <a href="https://henruite.com">probl</a>émů spojených s částicemi. Označujeme to tak, jak to měříme: stejná teplota, stejná rychlost zvyšování teploty, cyklus za cyklem.</p>