V prostředí čisté místnosti může i náznak teplotní odchylky 1,2 °C způsobit, že profil fotorezistu, který by měl odpovídat požadavkům, se promění v odpad. Naše infračervené topidla určená do čistých místností mají za úkol eliminovat tuto nestabilitu. Jsou navržena s ohledem na realitu výroby polovodičů – kde je teplotní rozsah pevně stanoven a počet částic musí zůstat v řádu jednociferných hodnot.
Co je opravdu důležité
Používáme krátkovlnné infračervené emitory s rychlou odezvou a přesnou kontrolou spektra. Díky tomu dokážeme udržet rovnoměrnost teploty na povrchu desky v rozmezí ±0,1 °C. Opakovatelnost teploty zůstává stejná v každém cyklu, což zajišťuje stabilní hodnoty během procesu litografie. Konstrukce topidel je vhodná pro použití v čistých místnostech – hermeticky uzavřená konstrukce emitorů a materiály s nízkou mírou uvolňování plynů zabrání nárůstu počtu částic, dokonce i v prostředích třídy 1–100. Získáte tak spolehlivý provoz 24/7 bez neplánovaných přestávek. Energetický profil je také lepší než u konvenčních topení, protože neohříváme velké množství hmoty.
Práce s fotorezistem není o „zahřátí“. Jedná se o přesný termální proces. S tímto topením můžeme rychle zvýšit teplotu filmu, poté ji udržet konstantní během procesu zahřívání a nakonec ji opatrně snížit. Výsledkem je konzistentní odstraňování rozpouštědel, stabilná tloušťka filmu a předvídatelná kontrola jeho rozměrů.
Nemusíte se rozhodovat mezi tepelnými vlastnostmi a kontrolou kontaminace. Kompatibilita s čistými místnostmi je součástí designu, takže se rozšiřují možnosti procesu, snižuje se množství oprav a zvyšuje se výtěžnost – aniž bychom museli měnit chemické složení nebo časové parametry procesu.
Před objednávkou si uvědomte několik praktických bodů. Instalace vyžaduje přizpůsobení geometrie komory a správné zarovnání emitorů vůči dráze desky. Pokud provádíte modernizaci, očekávejte menší úpravy. Zařízení bude fungovat podle svých parametrů pouze tehdy, pokud bude vzdušný proud, odvod vzduchu a čistota reflektorů správně nastaveny.
Plánujte samostatný obvod napájení a předem zkontrolujte toleranci napětí v místě instalace. Pokles napětí naruší stabilitu nastavených hodnot a zhorší rovnoměrnost. Poskytujeme také informace o rozhraní ovladače, aby integrace proběhla hladce a opakovaně.