
في خطوط الطباعة بالليثوغرافيا، فإن اختلاف درجة الحرارة بمقدار 2 درجة مئوية أثناء عملية التسخين كافٍ لتدمير كميات كبيرة من المواد المستخدمة في العملية. لذلك قمنا بتعديل تصميم مشبك اللمبات الأشعة تحت الحمراء، بحيث يضمن توزيع الحرارة بشكل موحد ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية على سطح الرقاقة. وفي هذا المجال، يعتمد مستوى الإنتاج على دقة التوزيع الحراري.
العوامل المهمة في العملية يقوم المشبك بتثبيت لمبات الأشعة تحت الحمراء في مكانها بدقة، مما يضمن استقرار توجيه الأشعة ومسافة التركيز. كما أنه يغطي النطاقات القصيرة والمتوسطة من الأشعة، مما يوفر استجابة حرارية سريعة مع حد أدنى من الأخطاء. كما أن المواد البوليمرية والأغلفة المعدنية المستخدمة متوافقة مع بيئات الغرف النظيفة، مما يقلل من تكون الجسيمات، وبالتالي يضمن استقرار درجات الحرارة أثناء عمليات التسخين.
لماذا يُستخدم في معالجة الرقائق؟ لا تتغير درجات الحرارة المطلوبة أثناء عمليات التسخين. يساعد هذا المشبك في الحفاظ على استقرار درجات الحرارة، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة المعالجة ويقلل من عيوب المواد المستخدمة. كما أنه يضمن استقرار ترتيب اللمبات طوال الوقت، مما يقلل من أوقات التوقف غير المخطط لها واستهلاك الطاقة الناتج عن عمليات إعادة التسخين. كما أنه يساعد في تحسين دقة العمليات وتقليل الأخطاء الناتجة عن اختلاف توجيه اللمبات.
ملاحظات تقنية يتطلب التركيب دقة في تطبيق العزم، كما يجب أن تكون اللمبات مثبتة بشكل صحيح؛ فإذا لم يتم تطبيق العزم بشكل صحيح، فقد تختلف درجات الحرارة بمقدار بضعة عشرات من الدرجات المئوية. يمكن استخدام هذا المشبك مع القضبان القياسية، لكن قد تحتاج بعض الأجهزة القديمة إلى تركيبات خاصة. يجب إجراء فحوصات دورية للتأكد من استقرار توجيه اللمبات، كما يجب الحفاظ على بيئة نظيفة للحفاظ على استقرار درجات الحرارة.