避免红外灯的热量让整个机器过热
如果红外能量泄漏到机器的机壳中，那显然就是设计上的问题了。很简单。当使用高功率的红外灯时，其辐射不会只停留在晶圆上，而是会四处扩散。如果不控制这些热量的去向，机器的内部部件就会吸收这些热量。很快，机器的外壳就会变得足够热，甚至可能烫伤人。同时，冷却风扇也会因为要散热而持续运转。
让热量集中在正确的地方
关键在于为红外光源配备一个能够有效反射光线的反射器。普通的灯泡会将光线向四周散发——也就是360度。而将灯泡放入抛物面或椭圆形反射器中，就可以让光线集中照射在晶圆上。这样做的目的不仅仅是加快处理速度，更重要的是防止热量散失，避免机器的机壳过热。
材料的选择很重要
通常，我们会选择镀金或高纯度铝作为反射器材料。黄金是最佳选择，因为它能极好地反射红外光。但如果反射器本身吸收了过多的热量，它就会变形或氧化。一旦出现这种情况，光线的焦点就会发生变化，导致晶圆上出现“冷点”，从而使得整个过程又回到起点。另外，还要注意安装精度。即使灯泡的位置有微小的偏差，也足以使光线偏移几毫米，进而破坏整个工艺流程，再次导致机器过热。
实际安装建议
在地面进行组装时，务必确保反射器被固定在防振支架上。生产环境中的噪音很大，机器也会发出响声。如果灯泡的位置有任何微小的变动，光线也会随之改变。因此，必须使用坚固的固定装置来确保一切处于正确的位置。最后一点：请记住，将更多的热量集中在晶圆上，意味着灯泡的后端也会变热。因此，必须确保冷却系统能够有效处理这部分热量，否则电源就可能会被烧毁。