Hãy ngừng lãng phí thời gian chờ đợi không khí nóng lên đi!
Nếu bạn vẫn sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng không khí nóng trong quy trình xử lý bán dẫn, thì bạn đang phải trả một “thuế” dưới dạng thời gian lãng phí. Hãy suy nghĩ kỹ: bạn phải làm nóng không khí trước, rồi mới hy vọng rằng không khí đó sẽ làm nóng các tấm wafer. Đó là một quy trình chậm chạp.
Phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại giúp loại bỏ yếu tố trung gian này. Năng lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu cần được làm nóng. Không cần phải chờ đợi nữa.
Tại sao điều này lại quan trọng?
Khi sử dụng không khí nóng, bạn phải đối mặt với hiện tượng trễ nhiệt. Bạn phải chờ cho đến khi không khí đạt đến nhiệt độ nhất định thì vật liệu mới bắt đầu được làm nóng. Đó là một quy trình rất chậm.
Còn đèn hồng ngoại thì khác. Chúng có thể đưa vật liệu lên nhiệt độ mong muốn một cách tức thì. Như vậy, thời gian cần thiết để làm nóng vật liệu có thể được rút ngắn từ vài phút xuống còn vài giây. Khi đó, toàn bộ dây chuyền sản xuất sẽ hoạt động hiệu quả hơn. Bạn không cần nhiều thiết bị để đạt được mục tiêu sản xuất nữa – bạn có thể làm việc với ít không gian hơn.
Vấn đề “không làm cháy wafer”
Tốc độ rất quan trọng, nhưng nếu bạn vượt quá nhiệt độ cho phép, bạn sẽ phá hủy toàn bộ lô wafer đó. Đó là điều mà ai cũng muốn tránh.
Để kiểm soát tình hình, chúng ta kết nối các bộ sưởi hồng ngoại với các cảm biến nhiệt độ có độ chính xác cao. Điều này giúp tạo ra một vòng lặp phản hồi chính xác, giúp bộ sưởi biết khi nào cần giảm công suất.
Nhưng có một vấn đề: cảm biến phải hoạt động nhanh như bộ sưởi. Nếu bạn sử dụng cảm biến có tốc độ phản ứng chậm, đèn sẽ tiếp tục cung cấp nhiệt cho vật liệu ngay cả sau khi nó đã đạt đến nhiệt độ tối đa. Bạn cần sử dụng cảm biến có tốc độ phản ứng nhanh.
Thực tế là thế nào?
Tia hồng ngoại không phải là phép màu; nó cũng có những hạn chế riêng. Khác với không khí nóng, tia hồng ngoại cần có tầm nhìn rõ ràng để có thể làm nóng vật liệu. Nếu đèn không thể “nhìn thấy” vật liệu, thì nó sẽ không thể làm nóng vật liệu đó. Bạn cần phải đặt đèn ở vị trí thích hợp để tránh những vùng lạnh không mong muốn.
Ngoài ra, tia hồng ngoại tạo ra lượng nhiệt rất lớn. Nếu bạn không thông gió tốt, nhiệt độ bên trong máy sẽ tăng lên. Khi đó, các cảm biến sẽ cho ra kết quả sai lệch.