Trong môi trường sản xuất wafer, người ta học cách làm việc nhanh chóng: Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ 1°C trong quá trình nung phim chiếu sáng, toàn bộ lô sản phẩm 300mm có thể bị hỏng. Độ đồng đều của nhiệt độ không chỉ là một chỉ số kỹ thuật – đó chính là yếu tố quyết định liệu sản phẩm có thể được sử dụng được hay không. Chúng tôi thiết kế những ống sưởi hồng ngoại có tuổi thọ cao để giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn được đặt bên trong vỏ khoáng thạch anh. Nhờ đó, phản ứng nhiệt diễn ra nhanh chóng, và công suất phát ra vẫn ổn định. Trong khu vực được sưởi ấm, độ đồng đều của nhiệt độ duy trì ở mức ±0,1°C. Khả năng lặp lại của quy trình cũng được kiểm soát theo từng lô sản phẩm, chứ không phải theo từng ngày. Những ống sưởi này không tạo ra các hạt bụi, vì vậy mức độ bụi trong phòng sạch vẫn nằm trong khoảng Class 1–100.
Chúng tôi mong muốn rằng tuổi thọ của những ống sưởi này sẽ vượt quá 5.000 giờ, với mức suy giảm công suất dưới 5%. Điều này giúp giảm số lần thay thế ống sưởi và giảm thời gian ngừng máy.
Tại sao chúng lại hiệu quả trong quá trình nung
Quá trình nung nhẹ và nung mạnh giúp kiểm soát độ dày của lớp phim chiếu sáng. Với những ống sưởi này, chúng ta có thể làm nóng chất nền trực tiếp, do đó giảm được sự chậm trễ về mặt nhiệt độ. Những gradient nhiệt độ gây ra khuyết tật ở mép sản phẩm cũng được loại bỏ.
Kết quả là độ đồng đều của kích thước sản phẩm được cải thiện, số lần phải làm lại sản phẩm giảm đi, và mức nhiệt độ vẫn ổn định qua từng ca sản xuất. Nhu cầu sử dụng năng lượng cũng giảm xuống, vì các bộ phát hồng ngoại có thể đạt được nhiệt độ cần thiết một cách nhanh chóng và duy trì nó ổn định. Quá trình sản xuất cũng trở nên sạch sẽ và ổn định hơn.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt
Việc lắp đặt đòi hỏi phải có sự căn chỉnh chính xác về mặt quang học, cùng với các bộ phản xạ chuyên dụng để đảm bảo ánh sáng được phân bố đúng chỗ. Các ống sưởi này có thể kết nối với các thiết bị bán dẫn thông thường, nhưng cần phải thiết kế kỹ lưỡng hệ thống truyền nhiệt để tránh tình trạng nhiệt độ tăng quá mức tại một điểm cụ thể.
Hãy đảm bảo rằng nhiệt độ hoạt động của các ống sưởi nằm trong khoảng cho phép – nếu nhiệt độ vượt quá giới hạn, tuổi thọ của ống sưởi sẽ giảm, và bước sóng phát ra cũng sẽ thay đổi, điều này ảnh hưởng đến khả năng hấp thụ ánh sáng của lớp phim chiếu sáng. Hãy luôn lập kế hoạch cho quá trình làm mát có kiểm soát; điều này giúp bảo vệ lớp thạch anh và duy trì tính ổn định lâu dài của các ống sưởi.