200 ملی میٹر لائن پر، صفائی کے بعد خشک کرنے کا عمل صرف وقت ضائع کرنے جیسا نہیں ہے۔ دراصل، سطحی کشش، باقی رہنے والے حل، اور مائکرو آلودگیاں ہی یہ فیصلہ کرتی ہیں کہ آیا اگلا فوٹوریزسٹ تہہ مناسب معیار کے مطابق لگ پائے گی، یا پھر لیتھوگرافی کے عمل میں کوئی مشکل پیش آئے گی۔
در حقیقت، کون سے عوامل اہم ہیں؟
ہمارا 200 ملی میٹر ویفر خشک کرنے والا آلہ، ایک ایسے تھرمل پروفائل پر مبنی ہے جسے بار بار استعمال کیا جاسکتا ہے۔ گرم علاقے میں ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1 ڈگری سیلسیس کے فرق کے ساتھ یکساں رہتا ہے؛ اس طرح نرم اور سخت بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں تغیرات سے فوٹوریزسٹ کی کارکردگی میں کوئی تغیر نہیں آتا۔ چیمبر اور گیس کے راستے، کلین روم کلاس 1-100 کے معیارات کے مطابق ہیں، اور جب یہ سسٹم مستحکم حالت میں کام کرنے لگتا ہے، تو اس میں کوئی ذرہ بھی باقی نہیں رہتا۔ ہم اسے اسی طرح ہی ماپتے ہیں: یکساں درجہ حرارت، یکساں رفتار، چکر بعد چکر۔
واقعی، یہ سسٹم کیوں اس طرح کام کرتا ہے؟
عملی طور پر، اس تھرمل کنٹرول کی وجہ سے وہ نقصانات کم ہو جاتے ہیں جو پانی کی وجہ سے پیدا ہوتے ہیں، اور اس طرح پیداوار میں کمی نہیں آتی۔ بہتر درجہ حرارت کنٹرول سے خشک کرنے کا عمل مزید موثر ہو جاتا ہے، جس سے پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے، اور فوٹوریزسٹ کی کارکردگی برقرار رہتی ہے۔ اس کا نتیجہ یہ ہے کہ نقصانات کم ہو جاتے ہیں، فضلہ کم ہو جاتا ہے، اور ویفر واقعی خشک ہو جاتا ہے، جس سے آئندہ مراحل میں کوئی آلودگی کا خطرہ نہیں رہتا۔
آپ کو کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
یہ ماڈیول موجودہ 200 ملی میٹر پروسیس ٹولز میں استعمال کیا جاسکتا ہے، لیکن ایگزاسٹ کنٹرول اور گیس کی فراہمی کو مقامی دباؤ اور بہاؤ کے معیارات کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ آپ کو اپنے فوٹوریزسٹ کے معیارات کے مطابق اس سسٹم کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہوگا۔ جب یہ سسٹم مستحکم حالت میں کام کرنے لگتا ہے، تو پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے، لیکن ابتدائی تنصیب کے لئے کچھ وقت درکار ہوتا ہے۔ لہذا، پہلے ہی منصوبہ بندی کر لیں، تاکہ آپ مستحکم پیداوار حاصل کر سکیں۔