На поверхні плити для випалювання достатньо лише напівградусної зміни температури під час процедури м’якого випалювання, щоб це вплинуло на критичні параметри продукту та призвело до знищення великої кількості ваферів. Потрібна температура, якій можна довіряти – стабільна, однакова та точна.
Що є важливим у конструкції пристрою
Ми створили цей нагрівач на основі алгоритму PID для забезпечення потрібного рівня температури у складних умовах виробництва. Завдяки контролю з закритим циклом температура на платформі та гарячій платі залишається в межах ±0,1°C по всій поверхні вафера. Це забезпечує стабільність параметрів процесу випалювання. Пристрій підходить для використання в умовах чистих приміщень класу 1–100; матеріали та поверхневе покриття обрані так, щоб мінімізувати кількість частинок. Відсутність частинок – це не просто слоган, а обов’язкова умова конструкції пристрою – від елементів нагріву з низьким виділенням газів до герметичних теплових з’єднань.
Чому пристрій ефективний у літографії
У процесах літографії та обробки фотополімерів однорідна температура сприяє однорідності ширини ліній, кращому контролю їх параметрів та меншій кількості необхідних корекцій. Алгоритм PID швидко досягає потрібного рівня температури, тож після технічного обслуговування чи зміни параметрів процесу не виникає значних відхилень. Пристрій зберігає потрібний рівень температури навіть при зміні навантаження на вафери. Це забезпечує стабільну роботу пристрою як під час м’якого, так і під час жорсткого випалювання – стабільне прилипання фотополімера та передбачуваний результат процесу. Крім того, завдяки точному контролю економиться енергія, оскільки не виникає необхідності у надмірному нагріванні для компенсації змін температури.
Кілька практичних порад
Пристрій підходить для використання в існуючих установках, але його теплова ємність є більшою, що сприяє кращій однорідності температури. Тож потрібен трохи більший час на нагрівання до стабільного рівня. Також пристрій потребує стабільної напруги живлення; шуми в лініях живлення можуть вплинути на роботу сенсорів та призвести до відхилень температури за межі ±0,1°C. Необхідно налаштувати параметри контролера відповідно до вашого процесу – тоді нагрівач забезпечить потрібну однорідність температури.