Havayın ısınmasını bekleyerek zaman kaybetmeyi bırakın
Eğer hâlâ yarı iletken işlemleri için sıcak hava kullanıyorsanız, aslında zaman kaybı şeklinde bir “ara kişi vergisi” ödüyorsunuz demektir. Düşünün: Önce havayı ısıtıyorsunuz, ardından da havanın wafer’ı ısıtmasını umuyorsunuz. Bu oldukça yavaş bir süreçtir.
Kızılötesi (IR) ısıtma yöntemi ise bu aracıyı ortadan kaldırır. Enerji doğrudan malzemeye gönderilir; beklemeye gerek yoktur.
Neden bu önemli?
Sıcak hava kullanıldığında, termal ataletle mücadele etmek zorunda kalırsınız. Parçanın belirli bir sıcaklığa ulaşmasını beklemeniz gerekiyor. Bu oldukça zahmetli bir süreçtir.
IR lambaları farklıdır; hedef sıcaklığa neredeyse anında ulaşırlar. Böylece ısıtma sürecini dakikalar yerine saniyelere indirebilirsiniz. Böylece tüm üretim hattınız daha rahat çalışır. Artık belirli sayıda parça üretmek için onlarca istasyona ihtiyacınız yoktur – daha az alanda daha fazla iş yapabilirsiniz.
“Wafer’ları yakmama” sorunu
Hız önemlidir, ancak sıcaklığı kontrol edemezseniz bir dizi wafer’ı mahvetmiş olursunuz. Bu, kimse istemediği bir durumdur.
Her şeyi kontrol altında tutmak için IR ısıtıcıları yüksek hassasiyetli termokupllara bağlanır. Bu sayede ısıtıcının ne zaman gücünü azaltması gerektiği tam olarak belirlenir.
Ancak burada bir sorun var: Sensörünüz de ısıtıcı kadar hızlı olmalıdır. Eğer yavaş tepki veren bir sensör kullanırsanız, lamba sıcaklık sınırına ulaştıktan sonra bile ısı vermeye devam eder. Hızlı ve etkili bir sensöre ihtiyacınız vardır.
Gerçekler
IR bir sihirli değnek değildir; kendine özgü dezavantajları vardır.
Her yeri sarabilen sıcak havanın aksine, IR için net bir görüş hattı gereklidir. Eğer lamba parçayı göremezse, onu ısıtamaz. Bu rahatsız edici soğuk bölgelerden kaçınmak için lambaları nereye yerleştireceğinize dikkat etmelisiniz.
Ayrıca, IR çok yoğun bir ısı üretir. Eğer cihazın içindeki havayı düzgün bir şekilde tahliye etmezseniz, makinenin iç sıcaklığı değişmeye başlar. Bu durumda sensörleriniz size yanlış bilgiler verebilir.