Fabrika Zemininde
Fotoresist pişirme profilleri bir şeye dayanıyor: lamba dizi stabilitesi. Yumuşak pişirmenizde sıcaklık 0.5°C bile kayarsa, CD kontrolü kayar. Sert pişirmeyi 1.0°C kadar serbest bırakırsanız, tortu ve kalıntılarla karşılaşırsınız. Bu nedenle, bu pencereleri - sabit, vardiya sonrası vardiya şeklinde tutabilmeniz için bir SCR güç regülatörü geliştirdik.
Teknik olarak önemli olan
Regülatör, kapalı döngü akım algılama ile silikon kontrollü doğrultucu topolojisi kullanır. Lamba zarfı boyunca 0.1% güç çözünürlüğü ve ±0.1°C kararlı sıcaklık uniformitesi sağlarsınız. 24 V’dan 480 V’a kadar halojen, kuvars, kısa dalga, orta dalga ve karbon lifli/NIR lambalarını destekler ve 2 telli ve 4 telli standart arayüzlerle gelir, böylece doğrudan wafer track pişirme plakalarına ve kürleme araçlarına yerleştirebilirsiniz. Sıfır parçacık yapısı ve Sınıf 1–100 temiz oda uyumluluğu, pişirme/kürleme döngüleri sırasında parçacık sayısını sabit tutar.
Neden litografi ve fotoresist işleme için uygun olduğunu burada açıklıyoruz: CD’leri hedefte tutmak ve hatlardan atıkları çıkarmak için tekrarlanabilir pişirme sıcaklıklarına ulaşmalısınız. Bu regülatör, lamba çıktısını kilitler, böylece termal bütçeniz spesifikasyona uygun kalır. Karşılığında daha sıkı bir işlem penceresi ve daha az yeniden işleme partisi elde edersiniz.
Enerji tüketiminde de bunu fark edeceksiniz. Kontrolör, aşırı çıkışı önler ve döngü olmadan ayar noktasını korur, böylece tüketim düşer. Birimlerin %5’ten daha az bir çıkış düşüşü ile 5,000+ saat çalıştığını gördük - daha az lamba değişimi ve planlayabileceğiniz PM’ler.
Birkaç pratik not. Ünite, uluslararası yarı iletken ekipman standartlarına doğrulanmış bir eşdeğer olarak mühendislik tasarımı yapılmıştır, ancak kablolama yolu eski mekanik kontaktörlerle aynı değildir. Termal kütleye eşleşmek ve lambanız ile pişirme plakanız için PID’yi ayarlamak üzere hızlı bir devreye alma adımı bekleyin.
Kendinize bir iyilik yapın ve korumalı kablo ile özel bir toprak yolu çalıştırın. Bu, gürültünün gününüzü mahvedebileceği hassas metrologi bölgelerinden EMI’yi uzak tutar.