Wafer üretim sürecinde hızla öğreniyorsunuz: Foto dirençlerin ısıtılması sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik bile tüm 300 mm’lik partiye zarar verebilir. Sıcaklık homojenliği sadece bir ölçüt değildir; aynı zamanda ürün kalitesi ile atık miktarı arasındaki farkı belirleyen bir faktördür. Biz de uzun ömürlü kızılötesi ısıtma tüplerini işte bu amaç için geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlayıcıları kuvars kılıf içinde kullanıyoruz. Bu sayede tepki hızlı oluyor ve ışınım miktarı sabit kalıyor. Isıtılan bölgede sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında tutuluyor ve tekrarlanabilirlik her parti için ölçülüyor, gün bazında değil. Bu tüpler parça saçmadığı için temiz oda koşulları Class 1–100 aralığında kalıyor.
5.000 saatten fazla kullanım ömrü hedefliyoruz; bunun yanında çıkış gücünde %5’ten az bir azalma oluyor. Bu da daha az arıza ve daha az duruş süresi anlamına geliyor.
Neden bu yöntem işe yarıyor? Yumuşak ve sert ısıtma yöntemleri, çizgi genişliğinin kontrolünü sağlayan foto direnç profillerini belirler. Bu tüpler sayesinde substrat doğrudan ısıtılır; böylece termal gecikmeler azalır ve kenar kusurlarına neden olan sıcaklık farklılıkları ortadan kalkar.
Bunun sonucunda daha yüksek CD homojenliği, daha az yeniden işleme ihtiyacı ve vardiya sonrasında bile stabil kalan bir termal durum elde edilir. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; çünkü ışınlayıcılar hızlı bir şekilde belirlenen sıcaklığa ulaşır ve orada kalır. Böylece daha düşük enerji tüketimi ve daha istikrarlı bir üretim süreci elde edilir.
Doğru şekilde yapılması gerekenler Montaj işlemi, ışınımın doğru yere yönlendirilmesi için hassas optik hizalamalar ve özel yansıtıcıların kullanılmasını gerektirir. Tüpler standart yarı iletken ekipmanlarıyla uyumlu çalışır; ancak yerel aşırı ısınmaların olmaması için termal bağlantının iyi tasarlanması gerekmektedir.
Belirlenen voltaj aralığında kalın; aksi takdirde tüpler daha hızlı bozulur ve dalga boyu değişir. Bu da foto dirençlerdeki emilimi etkiler. Ayrıca her zaman kontrollü bir soğutma süreci planlanmalıdır; bu sayede kuvars korunur ve uzun vadeli stabilite sağlanır.