ในกระบวนการผลิตแบบ 200 มม. การทำให้แผ่นวัสดุแห้งหลังจากการทำความสะอาดนั้นไม่ใช่เพียงแค่ช่วงเวลาที่เครื่องหยุดทำงานเท่านั้น แต่ยังเป็นช่วงเวลาที่แรงตึงผิว สารละลายที่เหลืออยู่ และสิ่งปนเปื้อนขนาดเล็กจะมีบทบาทสำคัญในการกำหนดว่าการเคลือบสารโฟโตรีสิสต์ครั้งต่อไปจะออกมาตรงตามมาตรฐานหรือไม่
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? โมดูลการทำให้แผ่นวัสดุแห้งของเราถูกออกแบบมาให้มีความสม่ำเสมอทางด้านอุณหภูมิ โดยบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงจะมีความสม่ำเสมออยู่ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นที่ของแผ่นวัสดุ ดังนั้นอุณหภูมิที่ใช้ในการอบจึงส่งผลต่อพฤติกรรมของสารโฟโตรีสิสต์ได้อย่างสม่ำเสมอ นอกจากนี้ ห้องปฏิบัติการและทางเดินของก๊าซก็สามารถทำงานร่วมกับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 ได้ และระบบนี้ถูกออกแบบมาให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลยเมื่อเริ่มทำงานอย่างสม่ำเสมอ เราเรียกสิ่งนี้ว่า “อุณหภูมิที่สม่ำเสมอ อัตราการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ และการทำงานซ้ำๆ อย่างสม่ำเสมอ”
ทำไมถึงมีพฤติกรรมแบบนี้? ในทางปฏิบัติ การควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวดจะช่วยลดข้อบกพร่องที่เกิดจากน้ำซึ่งอาจส่งผลให้เกิดการสูญเสียผลผลิตได้ การควบคุมอุณหภูมิที่ดีจะช่วยให้กระบวนการทำให้แผ่นวัสดุแห้งเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ต้องลดมาตรฐานลง ซึ่งจะช่วยให้มีประสิทธิภาพในการผลิตสูงขึ้น และทำให้อุณหภูมิอยู่ในระดับที่สารโฟโตรีสิสต์สามารถทนได้ ผลลัพธ์ก็คือมีข้อบกพร่องน้อยลง มีวัสดุที่แห้งสนิทพร้อมสำหรับขั้นตอนต่อไป โดยไม่มีความเสี่ยงจากสิ่งปนเปื้อนเพิ่มขึ้น
สิ่งที่คุณต้องวางแผนไว้ โมดูลนี้สามารถนำมาใช้ร่วมกับเครื่องมือผลิตแบบ 200 มม. ที่มีอยู่ได้ แต่ระบบการระบายก๊าซและการจ่ายก๊าซจะต้องเหมาะสมกับค่าความดันและอัตราการไหลของก๊าซในสถานที่นั้นๆ คาดว่าจะต้องใช้เวลาในการปรับแต่งโปรไฟล์การอบให้เหมาะสมกับสารโฟโตรีสิสต์ที่ใช้ หลังจากปรับแต่งเสร็จแล้ว ระบบจะทำงานได้อย่างสม่ำเสมอ แต่ช่วงเวลาในการตั้งค่าเริ่มต้นนั้นมีความสำคัญมาก ดังนั้นควรวางแผนไว้ล่วงหน้า เพื่อให้ระบบสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพอีกครั้ง