ในพื้นที่การผลิต โปรไฟล์การอบฟิล์มโฟโตเรซิสต์มีความสำคัญอยู่ที่ความเสถียรของแสงจากหลอดไฟ หากการอบเบา (soft bake) ของคุณมีการเปลี่ยนแปลงแม้เพียง 0.5°C การควบคุมความกว้างของลวดลาย (CD) จะหลุดลอย หากการอบแข็ง (hard bake) เปลี่ยนไป 1.0°C คุณจะพบกับปัญหาคราบและสารตกค้าง เราได้สร้างตัวควบคุมพลังงาน SCR สำหรับหลอดไฟเพื่อให้คุณสามารถรักษาช่วงเวลาเหล่านั้นให้มีความเสถียรได้ตลอดทั้งการทำงาน
สิ่งที่สำคัญในด้านเทคนิค ตัวควบคุมใช้โทโพโลยีของรีกติไฟเออร์ซิลิคอน (silicon-controlled rectifier) พร้อมการตรวจจับกระแสในวงจรปิด คุณจะได้รับความละเอียดพลังงาน 0.1% และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในสถานะคงที่ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งกระเปาะหลอดไฟ รองรับหลอดฮาโลเจน, ควอตซ์, คลื่นสั้น, คลื่นกลาง, และหลอดคาร์บอนไฟเบอร์/NIR ตั้งแต่ 24 V ถึง 480 V และมาพร้อมกับอินเทอร์เฟซแบบ 2 สายและ 4 สายมาตรฐาน เพื่อให้คุณสามารถนำไปใช้ในแผ่นอบเวเฟอร์และเครื่องมืออบได้โดยตรง การก่อสร้างแบบไม่มีอนุภาคและความเข้ากันได้กับห้องคลีนรูม Class 1–100 ช่วยให้การนับอนุภาคคงที่ระหว่างรอบการอบ/การบ่ม
นี่คือเหตุผลที่มันเหมาะสมกับการถ่ายภาพและการประมวลผลฟิล์มโฟโตเรซิสต์: คุณต้องตั้งอุณหภูมิการอบที่สามารถทำซ้ำได้เพื่อให้ CD อยู่ในเป้าหมายและลดของเสียจากสายการผลิต ตัวควบคุมนี้ล็อกการส่งออกของหลอดไฟ เพื่อให้การใช้งบประมาณความร้อนอยู่ในมาตรฐาน ผลลัพธ์คือหน้าต่างกระบวนการที่แน่นหนาขึ้นและจำนวนล็อตที่ต้องทำซ้ำลดลง
และคุณจะสังเกตเห็นได้ในการดึงพลังงานด้วย ตัวควบคุมหลีกเลี่ยงการเกินขีดจำกัดและรักษาจุดตั้งค่าไว้โดยไม่ต้องเปิดปิด ดังนั้นการบริโภคจึงลดลง เราได้เห็นหน่วยงานทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมงโดยมีการลดลงของพลังงานน้อยกว่า 5%—การเปลี่ยนหลอดไฟและการบำรุงรักษาที่น้อยลงที่คุณสามารถวางแผนได้
ข้อแนะนำบางประการ หน่วยนี้ถูกออกแบบมาให้เป็นเทียบเท่าที่ได้รับการตรวจสอบกับมาตรฐานอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ระดับนานาชาติ แต่เส้นทางการเดินสายไม่ได้เหมือนกับคอนแทคเตอร์เชิงกลแบบเดิม คาดว่าจะมีขั้นตอนการติดตั้งที่รวดเร็วเพื่อตรงตามมวลความร้อนและปรับเทียบ PID สำหรับหลอดไฟและแผ่นอบของคุณ
ทำให้ตัวเองมีความสะดวกและใช้เส้นทางกราวด์ที่แยกออกมาพร้อมกับสายเคเบิลที่มีการป้องกัน มันช่วยป้องกัน EMI ออกจากพื้นที่เมโทรโลยีที่สำคัญซึ่งเสียงรบกวนสามารถทำให้วันของคุณเสียได้