На этапе литографии процесс высушивания фотополимера не является просто периодом ожидания – это важный элемент контроля. Если процесс высушивания не происходит однородно, это приводит к изменениям толщины пленки, возникновению стоячих волн и снижению качества продукции. Мы разработали специальные лампы для высушивания фотополимера, чтобы устранить эти проблемы.
Суть решения заключается в точном контроле температуры непосредственно на поверхности пластины. Галогеновые элементы короткой и средней длины волны, в сочетании с кварцевыми оптическими элементами и специальными отражателями, обеспечивают быстрый и предсказуемый контроль температуры. На всей поверхности пластины сохраняется однородность температуры в пределах ±0,1°C.
Что касается условий работы в чистой комнате, то система соответствует стандартам класса 1–100. Это достигается за счет использования материалов с низким уровнем выбросов газов, а также благодаря специальной конструкции, которая исключает появление частиц во время работы. Благодаря этому можно контролировать температуру высушивания фотополимера, а также использовать её на разных машинах.
В производстве полупроводников крайне важна стабильность процессов. Это позволяет добиться однородности результатов на каждой смене, сократить количество бракованных изделий и необходимости переработки. Также снижается потребление энергии, поскольку лампа быстро достигает заданной температуры и сохраняет её без скачков, что позволяет избежать лишнего расхода энергии. В производствах с большим объемом производства такая стабильность помогает поддерживать нормальную работу оборудования, снижать затраты на производство одной пластины и обеспечивать однородность качества продукции.
Еще один важный момент: для достижения однородности температуры в пределах ±0,1°C необходима тесная интеграция с контроллером нагревательной платы и механизмом перемещения пластины. Подбор параметров лампы должен соответствовать тепловым характеристикам оборудования. Процедура настройки занимает некоторое время, но после этого система может работать круглосуточно без перерывов.