Pare de perder tempo esperando que o ar esquente
Se você ainda está usando circulação de ar quente no processamento de semicondutores, na verdade está pagando um “imposto de intermediários”, na forma de tempo desperdiçado. Pense nisso: você aquece o ar e espera que ele aqueça o wafer. É um processo lento.
O aquecimento por infravermelho elimina esse intermediário. Ele envia energia diretamente para o substrato. Não há necessidade de espera.
Por que isso é importante
Quando se usa ar quente, é preciso lidar com a inércia térmica. É preciso esperar que o ar atinja uma certa temperatura antes que a peça possa ser aquecida. É um processo demorado.
As lâmpadas de infravermelho são diferentes. Elas atingem a temperatura desejada quase imediatamente. Isso significa que o ciclo de aquecimento passa de minutos para segundos. Assim, toda a linha de produção funciona melhor. Não é mais necessário ter várias estações para alcançar os padrões desejados – é possível fazer mais com menos espaço.
O problema de “não queimar o wafer”
A velocidade é ótima, mas se a temperatura ultrapassar o limite, todo o lote de wafers será estragado. Isso é um pesadelo que ninguém quer.
Para manter tudo sob controle, conectamos os aquecedores de infravermelho a termopares de alta precisão. Isso cria um circuito de feedback que indica ao aquecedor exatamente quando reduzir a intensidade do calor.
Mas há um problema: o sensor precisa ser tão rápido quanto o aquecedor. Se você usar um sensor grande com tempo de resposta lento, a lâmpada continuará a enviar calor para a peça muito depois de ela já ter atingido o limite de temperatura. É preciso usar sensores rápidos e eficientes.
A realidade
O infravermelho não é uma solução mágica; ele tem suas limitações.
Diferentemente do ar quente, que envolve tudo ao redor, o infravermelho requer uma linha de visão clara. Se a lâmpada não conseguir “ver” a peça, ela não conseguirá aquecê-la. É preciso planejar cuidadosamente onde colocar as lâmpadas para evitar esses pontos frios incômodos.
Além disso, o infravermelho gera muito calor concentrado. Se o ambiente dentro da máquina não for bem ventilado, a temperatura interna começará a subir. E, quando isso acontece, os sensores começam a dar informações incorretas.