Na powierzchni płyty krzemowej nawet niewielka różnica temperatury rzędu 1,2°C może sprawić, że profil fotorezystu, który powinien spełniać wymagania, stanie się bezużyteczny. Stworzyliśmy grzałkę podczerwieni przeznaczoną do użycia w czystych pomieszczeniach, aby wyeliminować tę zmienność. Jest ona przygotowana do pracy w warunkach produkcji półprzewodników, gdzie budżet cieplny jest ograniczony, a liczba cząstek musi pozostawać na poziomie kilku jednostek.
Co naprawdę jest ważne? Wykorzystujemy emitory podczerwieni o szybkim czasie reakcji i precyzyjnej kontroli widma, dzięki czemu możemy utrzymać jednorodność temperatury na całej powierzchni płyty w przedziale ±0,1°C. Powtarzalność temperatury pozostaje na tym samym poziomie w każdym cyklu, co zapewnia stabilność wymiarów podczas procesu litografii. Konstrukcja urządzenia jest dostosowana do pracy w czystych pomieszczeniach – hermetyczna konstrukcja emitora oraz materiały o małej ilości emisji cząstek sprawiają, że liczba cząstek nie rośnie, nawet w środowiskach klasy 1–100. Dzięki temu uzyskujemy nieprzerwaną pracę przez całą dobę, bez nieplanowanych przerw, a profil energetyczny jest lepszy niż w przypadku tradycyjnych grzałek, ponieważ nie trzeba nagrzewać dużej masy materiału.
Przetwarzanie fotorezystu nie polega na prostym podgrzewaniu. Jest to precyzyjny proces termiczny. Dzięki tej grzałce temperatura w filmie wzrasta szybko, potem zostaje utrzymana na stałym poziomie podczas procesu odgrzewania, a następnie spada kontrolowanie. Dzięki temu dochodzi do efektywnego usuwania rozpuszczalników, stabilnej grubości filmu oraz precyzyjnego kontrolowania jego wymiarów.
Nie musisz wybierać między efektywnością termiczną a kontrolą zanieczyszczeń. Zgodność z wymogami czystych pomieszczeń jest elementem tej metody, dzięki czemu możliwe jest realizowanie procesu bez konieczności zmiany chemii lub czasu trwania procesu.
Kilka praktycznych uwag przed dokonaniem wyboru: instalacja polega na dostosowaniu geometrii komory do grzania oraz na upewnieniu się, że emiter jest dobrze skierowany w stronę płyty. Jeśli planujesz modernizację, należy liczyć się z koniecznością niewielkich zmian w układzie urządzenia. Urządzenie zachowuje swoje specyfikacje tylko wtedy, gdy przepływ powietrza, odprowadzanie gazów oraz czystość reflektora są dostosowane zgodnie z procedurą.
Planuj korzystanie z dedykowanego obwodu zasilającego i upewnij się z góry, jaka jest tolerancja napięcia w danym miejscu. Spadek napięcia może negatywnie wpłynąć na stabilność temperatury i jej jednorodność. Udostępniamy informacje dotyczące interfejsu sterownika, dzięki czemu integracja urządzenia jest prosta i powtarzalna.