Di lantai fabrikasi, profil pembakaran photoresist bergantung pada satu perkara: kestabilan susunan lampu. Jika suhu soft bake berubah walaupun 0.5°C, kawalan CD akan tergelincir. Biarkan suhu hard bake berubah 1.0°C dan anda akan melihat kesan scumming dan sisa. Kami membina pengatur kuasa SCR untuk lampu supaya anda boleh mengekalkan julat tersebut — stabil, dari satu syif ke syif berikutnya.
Apa yang penting, secara teknikal
Pengatur ini menggunakan topologi silicon-controlled rectifier dengan pengesanan arus gelung tertutup. Anda mendapat resolusi kuasa 0.1% dan keseragaman suhu keadaan mantap ±0.1°C di seluruh sarung lampu. Ia menyokong lampu halogen, kuarza, gelombang pendek, gelombang sederhana, dan karbon fiber/NIR, dari 24 V hingga 480 V, dan dilengkapi dengan antara muka 2-wayar dan 4-wayar standard supaya ia boleh terus dipasang ke dalam plat pembakar wafer track dan alat penyembuhan. Pembinaan tanpa zarah dan keserasian bilik bersih Kelas 1–100 mengekalkan kiraan zarah tetap semasa kitaran pembakaran/penyembuhan.
Ini sebabnya ia sesuai untuk litografi dan pemprosesan photoresist: anda perlu mencapai suhu pembakaran yang boleh diulang untuk memastikan CD tepat dan mengurangkan produk rosak dari barisan. Pengatur ini mengunci keluaran lampu, jadi bajet terma anda kekal dalam spesifikasi. Keputusannya adalah julat proses yang lebih ketat dan kurang lot kerja semula.
Anda juga akan perasan pada penggunaan tenaga. Pengawal mengelakkan lebihan dan mengekalkan setpoint tanpa kitaran, jadi penggunaan tenaga berkurang. Kami telah melihat unit beroperasi melebihi 5,000 jam dengan penurunan keluaran kurang dari 5% — kurang pertukaran lampu dan penyelenggaraan berkala yang boleh dirancang.
Beberapa nota praktikal. Unit ini direka sebagai setara yang disahkan dengan piawaian peralatan semikonduktor antarabangsa, tetapi laluan wayarannya tidak sama seperti kontaktor mekanikal lama. Jangka masa pemantauan pantas diperlukan untuk menyelaraskan jisim terma dan melaras PID bagi kombinasi lampu dan plat pembakar anda.
Lakukan langkah bijak dengan menggunakan laluan tanah khusus menggunakan kabel terlindung. Ia menghalang EMI daripada memasuki zon metrologi sensitif, di mana gangguan bunyi boleh merosakkan operasi anda.