हवा के गर्म होने का इंतज़ार करना बंद करें
यदि आप अभी भी सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण हेतु गर्म हवा का उपयोग कर रहे हैं, तो आप वास्तव में अपना समय बर्बाद कर रहे हैं। सोचिए – आप हवा को गर्म करते हैं, फिर उम्मीद करते हैं कि वह हवा वेफर को गर्म कर देगी। यह एक धीमी प्रक्रिया है।
इन्फ्रारेड ऊष्मा विधि में ऐसी कोई आवश्यकता ही नहीं है। यह ऊर्जा सीधे ही सब्सट्रेट तक पहुँच जाती है… इंतज़ार करने की कोई आवश्यकता ही नहीं है।
यह क्यों महत्वपूर्ण है?
जब आप गर्म हवा का उपयोग करते हैं, तो आप थर्मल इनर्शिया से लड़ रहे होते हैं… आपको हवा के एक निश्चित तापमान तक पहुँचने का इंतज़ार करना पड़ता है… यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है।
इन्फ्रारेड लैंप अलग हैं… वे लगभग तुरंत ही लक्षित तापमान तक पहुँच जाते हैं… इससे आपकी उत्पादन प्रक्रिया तेज़ हो जाती है… अब आपको अपने लक्ष्यों को पूरा करने हेतु दर्जनों स्टेशनों की आवश्यकता नहीं है… आप कम स्थान में ही अधिक काम कर सकते हैं।
“वेफर को नष्ट न करें” – यह समस्या
गति तो अच्छी है, लेकिन यदि आप तापमान को अत्यधिक बढ़ा देते हैं, तो आप एक पूरी खेप के वेफरों को नष्ट कर देंगे… यह कोई अच्छी बात नहीं है।
चीजों को नियंत्रण में रखने हेतु, हम इन्फ्रारेड हीटरों को उच्च-सटीकता वाले थर्मोकपल्स से जोड़ते हैं… इससे हीटर को पता चल जाता है कि कब ऊष्मा देना बंद करना है।
लेकिन समस्या यह है कि आपके सेंसर की गति भी हीटर की गति के बराबर होनी चाहिए… यदि आप धीमी गति वाले सेंसरों का उपयोग करते हैं, तो लैंप तब भी ऊष्मा देता रहेगा… आपको ऐसे ही सेंसरों की आवश्यकता है जो तेज़ गति से काम करें।
वास्तविकता
इन्फ्रारेड भी कोई जादुई उपकरण नहीं है… इसमें भी कुछ कमियाँ हैं।
गर्म हवा के विपरीत, इन्फ्रारेड को सीधी रूप से लक्षित वस्तु तक पहुँचने हेतु स्पष्ट दृष्टि-रेखा की आवश्यकता है… यदि लैंप लक्षित वस्तु को नहीं देख पाता, तो वह उसे गर्म नहीं कर पाएगा… आपको अपने लैंपों की स्थिति का ध्यान रखना होगा…
इसके अलावा, इन्फ्रारेड बहुत ही अधिक ऊष्मा पैदा करता है… यदि आप मशीन के अंदर की हवा को ठीक से निकाल नहीं पाते, तो मशीन के अंदर का तापमान बढ़ जाएगा… और ऐसी स्थिति में आपके सेंसर आपको गलत जानकारी देने लगेंगे।