अपने हीटरों का इंतज़ार करना बंद करें: वैक्यूम आईआर की वास्तविकता
यदि आप अभी भी सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण हेतु गर्म हवा का उपयोग कर रहे हैं, तो आप वास्तव में समय के खिलाफ लड़ रहे हैं।
समस्या यह है कि वैक्यूम में तो हवा ही नहीं होती। ऐसी स्थिति में आप वेफर पर गर्मी नहीं डाल सकते। यहीं पर वैक्यूम इन्फ्रारेड हीटरों की आवश्यकता होती है। इन हीटरों में विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करके वेफर पर सीधे गर्मी डाली जाती है।
यह तो गर्मी को संभालने का एक बिल्कुल अलग तरीका है।
“इंतज़ार” की छिपी हुई कीमत
हम सभी ऐसी स्थिति में रह चुके हैं… हम गर्म हवा की प्रणाली चालू करते हैं, फिर इंतज़ार करते हैं… हवा को गर्म करना होता है, फिर चेम्बर की दीवारों को, और अंत में ही वेफर को। यह तो बहुत ही धीमी प्रक्रिया है।
लेकिन वैक्यूम इन्फ्रारेड हीटर ऐसा नहीं करते… वे तो तुरंत ही लक्ष्य तक पहुँच जाते हैं… मिलीसेकंडों में ही!
इसका मतलब यह है कि यदि आप 10 मिनट की प्रक्रिया को केवल 30 सेकंड में ही पूरा कर सकते हैं, तो आपकी उत्पादन क्षमता बढ़ जाएगी… आपको अधिक उपकरण खरीदने या पहले से ही भरे हुए प्रयोगशाला स्थान की आवश्यकता नहीं होगी।
सही सेटअप
बेशक, आप किसी भी हीटर को वैक्यूम में इस्तेमाल नहीं कर सकते… आपको उचित उपकरणों की आवश्यकता है… हम आमतौर पर क्वार्ट्ज एनवेलपमेंट एवं उच्च-शुद्धता वाले सीलों का उपयोग करते हैं… क्यों? क्योंकि “आउटगैसिंग” तो एक बड़ी समस्या है… थोड़ी सी भी अशुद्धियाँ होने से वेफर नष्ट हो जाता है।
लेकिन एक समस्या यह भी है… उच्च-वॉटेज वाले इन्फ्रारेड लैंप तो तेज़ हैं, लेकिन वे अत्यधिक गर्मी पैदा करते हैं… यदि वेफर ऐसी गर्मी को सहन नहीं कर सकता, तो वह विकृत हो जाएगा… ऐसी स्थिति से बचने हेतु आपको एक अच्छा PID कंट्रोलर की आवश्यकता है… ताकि आप लक्षित तापमान को ही प्राप्त कर सकें।
संतुलन
वैसे, इन्फ्रारेड हीटर हर काम के लिए उपयुक्त नहीं हैं… यदि वेफर का आकार अजीब है, या उसमें गहरे छेद हैं, या जटिल आकृतियाँ हैं, तो इन्फ्रारेड किरणें हर कोने तक नहीं पहुँच पाएँगी… कुछ जगहों पर तो अत्यधिक गर्मी होगी, जबकि अन्य जगहों पर ठंड ही रहेगी… ऐसी स्थिति में आपको अपने हीटरों की व्यवस्था को ठीक करना होगा, या रिफ्लेक्टरों का उपयोग करके गर्मी को उन जगहों तक पहुँचाना होगा।
फोर्स्ड एयर तो धीमा है, लेकिन यह अधिक सहनशील है… यह वेफर के चारों ओर घूमकर गर्मी पहुँचाता है…
लेकिन यदि आप समतल वेफरों के साथ काम कर रहे हैं, एवं आपको तेज़ गति की आवश्यकता है, तो इन्फ्रारेड ही एकमात्र विकल्प है।