בקו ה-300 ממ, מספיק ש-FOUP אחד יצא מהמתקן לייבוש עם סימן מים מיקרוסקופי, כדי שכל המנות שנמצאות בו יהפכו לבלתי רלוונטיות. בשיטות הייבוש הרגילות, אנו בעצם מסתמכים על גרסטיאנטים טמפרטוריים בין שכבות הוופרים. סיכון כזה אינו מקובל כאשר טווח הטמפרטורות נמדד בננומטרים.
מה חשוב באמת מכשיר הייבוש הזה מאפשר שוויון טמפרטורי ברמת הוופר – ±0.1°C, כאשר המדידה נעשית במישור הוופר עצמו, ולא על פני המחממים. הוא משתמש בגלי אינפרא-אדום קצרים ובמערכת זרימת אוויר ללא קוורץ, כך שלא נוצרות חלקיקים במהלך תהליך הייבוש. החיסומים המכניים ומערכות הסינון מותאמים כך שהסביבה תישאר ברמת ניקיון של Class 1–100. המודל התרמי המובנה במכשיר מאפשר שליטה טובה יותר בטמפרטורות, כך שהתהליכים של ייבוש יהיו עקביים.
למה זה חשוב בתהליכי ליתוגרפיה ואריזה בתהליכי ליתוגרפיה, הדיוק הזה מאפשר שליטה טובה יותר בממדים הקריטיים של הוופרים, וכך יורד מספר הפגמים הנגרמים עקב חומרי המפוחת שנשארים על הוופרים. כך ניתן להשיג ביצועים עקביים של החומרים השימושיים בתהליך הליתוגרפיה, והעקביות נשמרת גם בין שעות העבודה השונות. המכשיר גם מקצר את זמן העבודה על ידי הסרה אמינה של הלחות, ובנוסף, הצריכה האנרגטית נשמרת ברמה נמוכה בזכות התגובה התרמית המהירה והפעולה היעילה במצב חיסכון. בתהליכי אריזה, המכשיר מונע חמצון לאחר הניקוי ושופר את יכולת ההידבקות של הוופרים לפני האריזה.
על מה צריך לשים לב כשמשתמשים בו המכשיר מתאים לתקנים הסטנדרטיים של FOUP וליציאות SEMI, אך גאומטריית הוופרים והחיסומים של הדלתות עדיין יכולים להשפיע על זרימת האוויר. יש לבצע בדיקות קצרות כדי לוודא שהטמפרטורות בנקודות השונות של הוופרים תואמות את רמת הלחץ בחדר הנקי. לאחר שהמכשיר מותאם כראוי, הוא יכול לפעול 24/7, עם אזהרות לגבי תחזוקה, כך שאין צורך בהפסקות בלתי צפויות.