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Trocknen von MEMS-Wafern mit Infrarotstrahlung Beim Trocknen von MEMS-Sensorwafern muss man ein schwieriges Gleichgewicht finden. Die Feuchtigkeit...

Hören Sie auf, die Vakuumkammer zu erhitzen! Jeder, der bereits Erfahrung mit der Herstellung von Halbleitern hat, kennt diese Probleme. Man muss die...