Bei der 300-mm-Technologie reicht bereits ein einziger FOUP-Kasten, der mit mikroskopisch kleinen Wasserrückständen aus dem Trocknungsprozess herauskommt, aus, um ganze Chargen vonWafern unbrauchbar zu machen. Bei herkömmlicher Trocknung setzt man im Grunde auf Temperaturunterschiede zwischen den Wafern. Solche Risiken sind jedoch nicht akzeptabel, wenn die Prozessparameter in Nanometern gemessen werden.
Was wirklich wichtig ist
Dieser FOUP-Trockner erreicht eine thermische Gleichmäßigkeit auf Waferniveau von ±0,1°C – gemessen auf der Fläche der Wafer selbst, nicht auf der Oberfläche der Heizelemente. Er verwendet Kurzwell-Infrarotstrahler sowie einen luftdichten Luftstromkanal ohne Quarzstoffe, sodass keine Partikel entstehen, während versucht wird, die Feuchtigkeit zu entfernen. Die mechanischen Dichtungen sowie die Filter zur Abführung der Abgase sorgen dafür, dass der Raum weiterhin zur Klasse 1–100 gehört. Das eingebaute thermische Modell kompensiert die Belastung durch den FOUP-Kasten, sodass die Ergebnisse des Trocknungsprozesses immer wieder reproduzierbar sind.
Warum das in der Lithografie und Verpackungstechnik wichtig ist
In der Lithografie führt diese Präzision zu einer besseren Kontrolle der kritischen Abmessungen sowie weniger Defekten durch verbleibende Lösungsmittel. Dadurch wird eine konstante Leistung des Fotoleitmittels von Charge zu Charge gewährleistet. Zudem verkürzt der Trockner die Bearbeitungszeit, da er die Feuchtigkeit zuverlässig entfernt. Gleichzeitig bleibt der Energieverbrauch gering, dank schneller thermischer Reaktionen und effizienter Standby-Funktionen. In der Verpackungstechnik verhindert der Trockner eine Oxidation nach der Reinigung und verbessert die Haftung der Materialien vor der Verpackung.
Worauf man achten muss
Der Trockner passt zu den Standardmaßen der FOUP-Kästen sowie zu den SEMI-Schnittstellen. Doch die Geometrie des FOUP-Kastens sowie die Dichtungen der Türen können den Luftstrom beeinflussen. Planen Sie daher einen kurzen Testlauf, um die Temperaturen an verschiedenen Stellen der Wafer zu messen und sicherzustellen, dass der Luftstrom entsprechend dem Druckprofil des Reinraums abläuft. Sobald alles eingestellt ist, kann der Trockner 24/7 betrieben werden – mit Warnmeldungen bei Störungen, damit es keine unplanmäßigen Stillstände gibt.