ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেক প্রোফাইলগুলি এক জিনিসের দিকে আসে: ল্যাম্প অ্যারে স্থিরতা। যদি আপনার সফট বেক 0.5°Cও ড্রিফট করে, তাহলে CD নিয়ন্ত্রণ স্লিপ করে। যদি হার্ড বেক 1.0°C বিচলিত হয়, তাহলে আপনি স্কামিং এবং রেসিডিউ দেখতে পাবেন। আমরা ল্যাম্পের জন্য একটি SCR পাওয়ার রেগুলেটর তৈরি করেছি যাতে আপনি সেই উইন্ডোগুলি ধরে রাখতে পারেন—স্থির, শিফটের পর শিফট।
যা প্রযুক্তিগতভাবে গুরুত্বপূর্ণ রেগুলেটরটি সিলিকন-কন্ট্রোলড রেকটিফায়ার টপোলজি ব্যবহার করে ক্লোজড-লুপ কারেন্ট সেন্সিং সহ। আপনি 0.1% পাওয়ার রেজলিউশন এবং ±0.1°C স্থিতিশীল তাপমাত্রার একরূপতা পান ল্যাম্প এনভেলপ জুড়ে। এটি হ্যালোজেন, কোয়ার্টজ, শর্ট-ওয়েভ, মিডিয়াম-ওয়েভ এবং কার্বন-ফাইবার/NIR ল্যাম্প সমর্থন করে, 24 V থেকে 480 V পর্যন্ত, এবং এতে স্ট্যান্ডার্ড 2-ওয়্যার এবং 4-ওয়্যার ইন্টারফেস রয়েছে যাতে আপনি এটি সোজা ওয়েফার ট্র্যাক বেক প্লেট এবং কিউর টুলসে স্থাপন করতে পারেন। জিরো-পার্টিকেল নির্মাণ এবং ক্লাস 1–100 ক্লিনরুম সামঞ্জস্য বেক/কিউর সাইকেলগুলির সময় পার্টিকেল গণনা সমতল রাখে।
এটি লিথোগ্রাফি এবং ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াকরণের জন্য কেন উপযুক্ত: আপনাকে লক্ষ্যবস্তুতে CD রাখতে এবং লাইনে স্ক্র্যাপ করতে পুনরাবৃত্ত বেক তাপমাত্রায় পৌঁছাতে হবে। এই রেগুলেটর ল্যাম্পের আউটপুটকে লক করে, তাই আপনার তাপীয় বাজেট স্পেকের মধ্যে থাকে। এর ফলাফল হচ্ছে একটি টাইটার প্রক্রিয়া উইন্ডো এবং কম পুনঃকর্ম লট।
এবং আপনি এটি শক্তি টানেও লক্ষ্য করবেন। কন্ট্রোলারটি ওভারশুট এড়ায় এবং সাইকেল ছাড়াই সেটপয়েন্ট ধরে রাখে, তাই ব্যবহারের পরিমাণ কমে যায়। আমরা দেখেছি ইউনিটগুলি 5,000+ ঘণ্টা চলতে পারে 5% এর কম আউটপুট পতনের সঙ্গে—কম ল্যাম্প পরিবর্তন এবং PMs আপনি পরিকল্পনা করতে পারেন।
কিছু ব্যবহারিক নোট। ইউনিটটি আন্তর্জাতিক সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির মানের একটি যাচাইকৃত সমতুল্য হিসাবে প্রকৌশলী করা হয়েছে, তবে এর ওয়্যারিং পথ প্রথাগত মেকানিক্যাল কন্ট্যাক্টরের মতো নয়। আপনার ল্যাম্প এবং বেক প্লেট কম্বোর জন্য তাপীয় ভর মেলানোর এবং PID টিউন করার জন্য একটি দ্রুত কমিশনিং পদক্ষেপের প্রত্যাশা করুন।
নিজের জন্য একটি সুবিধা করুন এবং একটি শিল্ডেড কেবলের সাথে একটি নিবেদিত গ্রাউন্ড পাথ চালান। এটি ইএমআইকে সংবেদনশীল মেট্রোলজি জোন থেকে দূরে রাখে, যেখানে শব্দ আপনার কাজ নষ্ট করতে পারে।