ফ্যাব ফ্লোরে, ১.২°C এরও কম তাপমাত্রায়ও ফটোরেসিস্টের গুণমান খারাপ হয়ে যেতে পারে। আমরা এই সমস্যা দূর করার জন্য ক্লিনরুম-উপযোগী ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি। এটা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের বাস্তবতার জন্য তৈরি করা হয়েছে; যেখানে তাপমাত্রা নির্দিষ্ট থাকে, আর কণার সংখ্যা অল্প থাকে।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত প্রতিক্রিয়াশীল ও নিয়ন্ত্রিত স্পেকট্রাম সহ শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটার ব্যবহার করি; যাতে ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। প্রতিটি চক্রেই তাপমাত্রা একই থাকে; ফলে লিথোগ্রাফির সময় গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলো স্থিতিশীল থাকে। এটা ক্লিনরুম-উপযোগী—সিলড ইমিটার আর্কিটেকচার ও কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদানগুলোর কারণে কণার সংখ্যা কম থাকে, এমনকি ক্লাস ১–১০০ এর পরিবেশেও। এটা ২৪/৭ নির্ভরযোগ্য ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত; আর এর শক্তি ব্যবহারও কম হয়, কারণ আমরা অতিরিক্ত পরিমাণে তাপ দিই না।
ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় তাপ দেওয়া নয়, বরং নির্ভুল তাপ নিয়ন্ত্রণ গুরুত্বপূর্ণ। এই হিটারের সাহায্যে আমরা দ্রুত তাপমাত্রা বাড়াই, তারপর ধীরে ধীরে তাপমাত্রা কমাই। এর ফলে দ্রবণীয় পদার্থগুলো সঠিকভাবে অপসারিত হয়, ফিল্মের পুরুত্ব স্থিতিশীল থাকে, আর CD মানও নিয়ন্ত্রণযোগ্য থাকে।
আর আপনাকে তাপ নিয়ন্ত্রণ ও দূষণ নিয়ন্ত্রণের মধ্যে কোনো বিকল্প নির্বাচন করতে হবে না। ক্লিনরুম-উপযোগী বৈশিষ্ট্যগুলো এই পদ্ধতিতে অন্তর্ভুক্ত রয়েছে; ফলে প্রক্রিয়াটি সহজ হয়, পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়, আর উৎপাদন বৃদ্ধি পায়—রাসায়নিক প্রক্রিয়া বা সময়সীমা পরিবর্তন না করেই।
ব্যবহারের আগে কয়েকটি বিষয় মনে রাখুন। ইনস্টলেশনের জন্য বেক চেম্বারের গেওমেট্রি ও ইমিটারের অবস্থান ঠিক রাখা দরকার; যদি আপনি রিটাইম করছেন, তাহলে কিছুটা পুনর্বিন্যাস দরকার হবে। ইউনিটটি তখনই নির্দিষ্ট মান বজায় রাখতে পারে, যখন বায়ুপ্রবাহ, নির্গমন ও রিফ্লেক্টরের পরিষ্কারতা নির্দিষ্ট নিয়ম অনুযায়ী থাকে।
একটি নির্দিষ্ট পাওয়ার সার্কিট ব্যবহার করুন, আর সাইটের ভোল্টেজ সহনশীলতা আগে থেকেই যাচাই করুন। ভোল্টেজ কমে গেলে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ কঠিন হয়ে যায়। আমরা কন্ট্রোলার ইন্টারফেস সরবরাহ করি; ফলে ইন্টিগ্রেশন সহজ ও পুনরাবৃত্তিযোগ্য হয়।