في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن خطوة التسخين ليست مجرد توقف مؤقت، بل هي عملية تحكم دقيقة. إذا لم يكن التسخين متساويًا، فإن ذلك سيؤدي إلى اختلافات في السمك، وظهور موجات جانبية، وانخفاض كفاءة الإنتاج. لذلك، قمنا بتصميم أجهزة التسخين المستخدمة في عملية التسخين للتغلب على هذه المشاكل.
الجزء الأساسي في هذه العملية هو التحكم الحراري مباشرة على سطح الرقاقة. استخدام عناصر هالوجينية ذات موجات قصيرة ومتوسطة، بالإضافة إلى عدسات من الكوارتز ومرايا مصممة بعناية، يساعد في تحقيق استجابة حرارية سريعة ومتكررة. نحافظ على توحيد درجة الحرارة على سطح الرقاقة في نطاق ±0.1 درجة مئوية.
أما بالنسبة لبيئة الغرفة النظيفة، فإن النظام متوافق مع المعايير من الفئة 1 إلى 100، وذلك باستخدام مواد لا تنتج غازات، بالإضافة إلى تصميم يضمن عدم تكوّن أي جسيمات أثناء التشغيل. والنتيجة هي درجة حرارة مستقرة يمكن تسجيلها ومراقبتها، كما يمكن نقل الرقاقات بسهولة من آلة إلى أخرى.
يعتمد إنتاج أشباه الموصلات على الاستقرار. فالاستقرار يضمن تكرارية العملية من مرة إلى أخرى، ويقلل من النفايات وعمليات إعادة التصنيع. كما يقل استهلاك الطاقة، لأن الأجهزة تصل إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة وتحافظ عليها دون أي تجاوزات، وبالتالي لا يتم استهلاك طاقة إضافية. في المصانع ذات الإنتاج الكبير، يساعد هذا الاستقرار في الحفاظ على سير العملية بشكل مستمر، وخفض تكلفة الرقاقة الواحدة، وضمان استقرار الجودة.
ملاحظة عملية: تحقيق درجة توحيد تبلغ ±0.1 درجة مئوية يتطلب تكاملاً دقيقًا بين جهاز التحكم في درجة الحرارة ومرحلة الرقاقة. لذلك، فإن مطابقة إخراج الأجهزة مع الخصائص الحرارية للآلة أمر ضروري.
من المتوقع أن يكون هناك وقت قصير لضبط الإعدادات والمستشعرات وخطوات التسخين. بمجرد التعديل، يمكن للنظام العمل 24/7 بدون أي توقفات غير مخطط لها، لكن هذا الضبط الأولي يعتبر جزءًا من عملية التركيب.