في خط الإنتاج بطول 300 مم، يكفي وجود علامة مائية صغيرة على الرقاقة لتدمير كل دفعة من الرقائق. أما باستخدام طريقة التجفيف التقليدية، فإنك تعتمد في الأساس على التباينات في درجة الحرارة عبر الرقائق. لكن هذا الخطر غير مقبول عندما يتم قياس نوعية العملية بالنانومترات.
ما الذي يهم حقًا؟ يوفر جهاز التجفيف هذا توحيدًا حراريًا على مستوى الرقاقة بدقة ±0.1 درجة مئوية، وذلك عند قياس درجة الحرارة على سطح الرقاقة نفسها، وليس على سطح المُسخّن. يستخدم الجهاز أجهزة إصدار أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، بالإضافة إلى مسارات تدفق هواء خالية من الكوارتز، وذلك لتجنب إضافة أي جسيمات أثناء عملية إزالة الرطوبة. كما أن أنظمة الختم الميكانيكي وأنظمة الترشيح تساعد في الحفاظ على بيئة نظيفة من الفئة 1 إلى 100. كما يوجد نموذج حراري مخصص للجهاز، يساعد في تعويض التأثيرات الناتجة عن وجود الرقائق، مما يضمن استمرارية جودة العملية دون أي انحرافات.
لماذا يكون مفيدًا في عمليات الطباعة والتغليف؟ في عمليات الطباعة، يساعد هذا الجهاز في التحكم بدقة في الأبعاد الحرجة للرقائق، كما يقلل من العيوب الناتجة عن الروائح المتبقية في الرقائق. كما يضمن الجهاز أداءً متسقًا في عمليات الطباعة، بالإضافة إلى استمرارية الأداء خلال فترات العمل المختلفة. كما يساعد الجهاز في تقليل وقت العملية، وذلك بفضل قدرته على إزالة الرطوبة بشكل فعال، بالإضافة إلى استهلاكه لطاقة أقل بفضل استجابته السريعة للتغيرات الحرارية. أما في عمليات التغليف، فيساعد الجهاز في منع حدوث أكسدة بعد عملية التنظيف، كما يحسن من قوة الالتصاق بين الرقائق قبل عملية التغليف.
ما الذي يجب مراعاته عند استخدام الجهاز؟ يتناسب الجهاز مع المواصفات القياسية للرقائق، لكن شكل الرقائق وأنظمة الختم قد تؤثر على تدفق الهواء. يجب إجراء اختبارات قصيرة لقياس درجة الحرارة في مواقع مختلفة على الرقائق، و التأكد من أن مسار تدفق الهواء يتوافق مع معايير البيئة النظيفة. بمجرد تهيئة الجهاز بشكل صحيح، يمكنه العمل على مدار 24 ساعة، مع تنبيهات لصيانته، مما يقلل من فترات التوقف غير المخطط لها.